可实现100平米室内具有不低于百级洁净度，温度波动范围不超过22±0.5摄氏度，温度漂移速率小于0.5摄氏度/小时，为三台大型设备提供VC-B、VC-C和VC-E防微振设施，提供超纯水、冷却水、供电和独立接地、压缩空气、高纯氮气、氩气和氧气设施。