扫描范围大于300 mm*300 mm，ADC卡采样频率不小于1.25G/秒，超声接受和发射单元带宽不小于500 MHz，可穿透770微米厚度以上硅片进行扫描，具有A、B、C三种扫描模式，具备表面扫描功能。