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浙江大学2024年3至4月政府采购意向
浙江大学2024年3至4月政府采购意向
项目名称:
电子束镀膜设备
品目
A02330300 电子工业生产设备
公告时间:
20240119
预算金额:
162.800000万元(人民币)
采购单位
浙江大学
采购时间
202404
采购需求:
本次购买的电子束镀膜设备(1台)是微纳加工中的重要设备,主要用于纳米和微纳电子器件加工,用于高质量、厚度精确控制的金属和氧化物薄膜的生长。需配备1套6坩埚电子束蒸发源,坩埚容量不小于7cc,配有不小于6kW供电电源,最高电压不低于10kV,电流不低于600mA,在清洁干燥的系统中极限真空度优于9*10-8Torr。
本文来源:
/ycz/ydetail_20242758bc.html
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